ナノリソグラフィでは、カンチレバーは機械的または電気的方法によりサンプル表面を意図的に変化させるのに用いられます。機械的にサンプル表面を変化させるには、特別の硬度を持ったカンチレバーが使用され、サンプル表面に過度の力が加えられます。サンプル表面を電気的に変化させるためには、高いバイアスを持つカンチレバーがサンプル表面を部分的に参加させるために用いられます。

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