故障解析と大型試料における研究開発のための最先端ナノ形状計測ツール
FAエンジニアとして結果を見出すことが求められますが、機械によるエラーやミスは当然許されません。Park NX20は、世界で最も正確な大型試料のAFMとして評判を得ており、データの正確性において半導体およびハードディスク業界でも非常に高く評価されています。
より強力な故障解析ソリューション
Park NX20には、デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的なソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。その比類なき精度により、作業に集中できる高解像度のデータの提供を可能にします。また、真のノンコンタクト™モードのスキャンによって、チップがより鋭く、かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。
初心者でも使いやすい操作方法
Park NX20は、業界で最もユーザーフレンドリーな設計と自動化されたインターフェイスを備えているため、ツールの使用や教育にかかる時間と労力をセーブすることができます。これにより、より大きな問題の解決に集中することができ、顧客へ明確でタイムリーな故障解析を行うことができます。
故障解析およびリサーチラボ向けの正確なAFMソリューション
3D構造における側面傾斜角度の正確な測定
Park NX20の革新的な構造により、試料の側壁と表面を検出することで、その角度を測定できます。これにより、ユニットには、より革新的な研究を行い、より深い洞察を得るために必要な多様性が与えられます。
メディアや基板の表面粗さ計測
表面粗さ計測は、Park NX20が正確な故障解析と優れた品質保証を提供する重要なアプリケーションの一つです。
高分解能電気計測モード
QuickStep SCM
最速のスキャンキャパシタンス顕微鏡
PinPoint AFM
摩擦のないコンダクティブAFM
Accurate AFM Scan by
True Non-Contact™ Mode
True Non-Contact™ Mode
True Non-Contact™ Mode is a scan mode unique
to Park AFM systems that produces high resolution
and accurate data by preventing destructive tip-sample
interaction during a scan.
Accurate Feedback by Faster Z-servo enables
True Non-Contact AFM
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Less tip wear → Prolonged high-resolution scan
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Non-destructive tip-sample interaction → Minimized sample
modification
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Maintains non-contact scan over a wide range of samples
and conditions
Unlike in contact mode, where the tip contacts
the sample continuously during a scan, or in
tapping mode, where the tip touches the sample
periodically, a tip used in non-contact mode does
not touch the sample. Because of this, use of non-contact
mode has several key advantages.
Scanning at the highest resolution throughout
imaging is now possible as the tip’s sharpness is
maintained.
低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー
ピエゾクリープエラーの発生しない真のサンプルトポグラフィー™
弊社のAFMは、業界で最も効果的な低ノイズZ検出器が装備されており、広い帯域幅で0.02 nmのノイズが発生します。これにより、非常に正確なサンプルトポグラフィーを取得することができ、エッジオーバーシュートもなく、キャリブレーションの必要もありません。Park AFMを使うことで、時間を節約することができ、より優れたデータを得ることができます。
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トポグラフィーに低ノイズZ検出信号使用
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大帯域幅で0.02 nmの低いZ検出器ノイズ
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前縁および後縁のエッジオーバーシュートなし
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工場でのキャリブレーションは１度のみ
