Park NX10

The premiere choice for
nanotechnology research

XY Stage

20 mm X 20 mm
(Motorized)

Sample size

Open space up to
100 mm x 100 mm,
thickness up to 20 mm

The quickest path to
innovative research

Park NX10は、最高のナノスケール解像度で信頼あるデータを提供します。サンプルのセッティングからイメージング、測定、解析に至るまですべての段階において簡単に操作することができます。NX10なら、ユーザーはより多くの時間と、より優れたデータを基盤に革新的な研究に集中することができます。

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360º Simulation

最先端の研究のための革新的機能

Park SmartScan™自動モード

SmartScan™ 自動モードは、パーク・システムズ独自のテクノロジーによって実現されました。このソフトウェアはイメージングに必要なすべての作業をこなし、最適な画質とスキャン速度を自動的に判断して決める賢いソフトウェアです。このソフトウェアを導入することで、時間とコストが削減され、より良い研究結果を期待できます。

パーク・システムズのクロストーク除去テクノロジー

Park NX10は、最高のナノスケール解像度にて、信頼性が高く、正確なデータを取得します。試料の表面の状態を傷つけることなく維持しながら、探針の寿命も延ばす世界で唯一の真のノンコンタクトAFMと、高い精度と解像度を実現するフレクチャーガイド式の独立したX/YおよびZスキャナーを備えています。

Park NX10 SICM モジュール

Park NX10 SICM(Scanning Ion Conductance Microscopy)モジュールでは、細胞生物学、分析化学、電気生理学、神経科学などの幅広い応用分野において、ナノスケールで生きたままのイメージングができます。

全ての研究のための正確なAFMテクノロジー

高さのあるサンプルステップ高1.5 ㎛

1.5 µm step height

スキャンモード:ノンコンタクトモード、低ノイズZスキャナによるトポグラフィー

平坦なサンプルサファイア基板の原子ステップ

Atomic steps of sapphire wafer

ステップ高0.3 nm、スキャンモード:ノンコンタクトモード、低ノイズZスキャナによるトポグラフィー

硬いサンプルタングステンフィルム

Tungsten film

スキャンモード:ノンコンタクトモード、低ノイズZスキャナによるトポグラフィー

軟らかいサンプルコラーゲン原線維

Collagen fibril

スキャンモード:ノンコンタクトモード、低ノイズZスキャナによるトポグラフィー

低ノイズZ検出器による正確なAFM測定

Park NX10 AFMの低ノイズZ検出器

  • 最新のキーテクノロジーとNXプラットフォームの融合。W
  • 業界最高レベルの低ノイズ、他の追随を許しません。
  • 全てのトポグラフィー計測に寄与します。

Z検出器は、新しいNXシリーズのAFMにおいてコアとなるキーテクノロジーといえます。Z検出器はパーク・システムズによって導入された歪ゲージセンサです。0.2Åと、業界最高水準のZ検出器ノイズです。ノイズレベルは、Z検出器をデフォルトのトポグラフィー信号として使用するのに十分なほどに低くなっています。新しいNXシリーズAFMを前世代モデルのXEと比べてみると違いがみえてきます。Z検出器のノイズが高すぎると、サファイアウェーハの原子ステップを明確に観察できません。Park NX AFMのZ検出器からの高さ信号には、Z電圧ベースのトポグラフィーと同じノイズレベルがみられます。

Park NX Z検出器のノイズレベル

NX10から取得されたサファイア基板のトポグラフィー

Park XE Z検出器のノイズレベル

XE-100で取得されたサファイア基板のトポグラフィー

真のノンコンタクト™モードによる正確なAFMスキャン

真のノンコンタクト™モード

True Non-Contact™ Mode is a scan mode unique
to Park AFM systems that produces high resolution
and accurate data by preventing destructive tip-sample interaction during a scan.

Accurate Feedback by Faster Z-servo enables
True Non-Contact AFM

  • 少ないチップ先端の摩耗 = 長時間の高解像度スキャンが可能
  • Non-destructive tip-sample interaction → Minimized sample modification
  • Maintains non-contact scan over a wide range of samples and conditions

Unlike in contact mode, where the tip contacts
the sample continuously during a scan, or in
tapping mode, where the tip touches the sample
periodically, a tip used in non-contact mode does
not touch the sample. Because of this, use of non-contact mode has several key advantages.
Scanning at the highest resolution throughout
imaging is now possible as the tip’s sharpness is maintained.

ユーザーフレンドリーな設計

より簡単な試料とプローブの交換

独自のヘッド設計によりサイドアクセスが容易なため、新しいチップやサンプルを直接手でスムーズに取り付けが可能です。また、カンチレバーチップホルダーに取り付けられているプリアライメントカンチレバーを使うことによって、面倒なレーザーの調整を必要とせずにスキャンを行うことができます。

超高速自動チップアプローチ

Pak NX10の自動チップ―サンプルアプローチ機能は、カンチレバーをロードしてからわずか10秒しかかからず、ユーザーが操作する必要もありません。接近している表面へのカンチレバーの応答をモニタリングし、高速ZスキャナによるすばやいフィードバックとNXエレクトロニクスコントローラーによる低ノイズ信号処理により、ユーザーが手間をかけることなく、サンプルの表面に自動的にアプローチします。

E簡単操作で直感的に使いやすいレーザービーム調整

パーク・システムズの高度な事前アライメントされたカンチレバーホルダーを使うことで、レーザービームは配置と同時にカンチレバーに焦点が合います。さらに、業界で唯一の自然なトップダウンビューにより、レーザースポットを簡単に見つけることができます。レーザービームはカンチレバーに垂直に当たるため、2つの位置決めノブを回すことにより、レーザースポットをX軸とY軸に沿って直感的に動かすことができます。その結果、 レーザーを簡単に見つけ、PSPDに配置することが可能です。微調整するだけで簡単にデータの取得ができる優れものです。

Park AFMモード

Park Advanced AFM Modes

Park AFMs feature a comprehensive range of scanning modes so you can collect a wide array of data types accurately and efficiently. From the world’s only true non-contact mode that preserves tip sharpness and sample integrity to advanced Magnetic Force Microscopy, Park offers the most innovative, accurate modes in the AFM industry.