高分解能CCDカメラとパターン認識ソフトウェアの強力な組み合わせにより、全自動パターン認識と測定位置合わせが可能となります。

自動化されたソフトウェアでは、NX-HDM操作が楽になります。測定レシピは、カンチレバーのチューニング、走査率、ゲイン、およびセットポイントパラメータの最適化された設定でマルチサイト分析を提供します。

自動化のためのシステムソフトウェアは、レシピファイルに書き込まれたプリセットの手順で検体の測定を実行します。パークのユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースは、様々なシステム全体の機能を実行するための柔軟性をオペレータに提供します。ゼロから新しいレシピを作成するにはおよそ10分、または既存のレシピを修正する5分ほどかかります。

パークNX-HDMは、これらを提供します。

• 自動、半自動、および手動モード
• 各自動化した手順の編集可能な測定方法
• 測定プロセスのリアル・タイム モニタリング
• 取得した測定データの自動分析

XYスキャナは対称形の二次元の屈曲と高力圧電スタックで構成され、最小限の平面外の動きと高い直交運動だけでなく、ナノメートルスケールでの正確なサンプルのスキャンに不可欠な高い応答性を提供します。コンパクトで剛性構造は、低ノイズ、高速サーボの応答のために設計されました。

2つの対称的な低雑音位置センサは、最大走査範囲及びサンプルサイズに対して、高い走査直交性を保持するためにXYスキャナの各軸上に組み込まれています。第二センサーは単独で一つのセンサーによって生じる非線形及び非平面の位置誤差を修正して、補償します。

高力圧電スタックによってドライブされて、屈曲構造に導かれて、標準的なZスキャナは9kHz以上（通常10.5kHz）の高い共振周波数と正確なフィードバックを可能にする48mm/秒以上の先端速度のZサーボ速度を持ちます。最大Z走査範囲は、オプションの長い走査範囲Zスキャナで、15µmから40µmまで拡張することができます。

業界トップの低ノイズのZ検出器は、トポグラフィーシグナルとして実用Z電圧に置き換えられます。また低ノイズXY閉ループ走査は、走査範囲の0.15%未満で後方の走査の隙間を最小にします。

非常に微細な構造を検出し、平坦な表面をイメージングするために、パークシステムズは0.5 A以下という市販装置最低レベルのフロアノイズを維持した装置を提供します。フロアノイズは、カンチレバーを試料表面に接触させ、固定された１点でシステムノイズを測定する「ゼロスキャン」モードで測定します。

• 1点固定（走査範囲設定：0 nm x 0 nm）
• 接触モード、ゲイン0.5
• 256 x 256 ピクセル