Park FX40

A New Class of Atomic Force Microscope:
The Automatic AFM

Automatic AFM for sample preperation

XY Stage

105 mm X 40 mm
(Motorized)

Sample size

Up to 20 mm x 20 mm recommended,
thickness up to 20 mm

A New Class of Atomic
Force Microscope:
The Automatic AFM
Accelerate your research!

Effortlessly, get the sharpest, clearest, highest
esolution images and measurements one sample
after another on various applications. Boost your
progress and scientific discoveries through
unprecedented speed and accuracy - as the Park
FX40 autonomously images and acquires data
powered by its artificial intelligence, robotics and
machine learning capability. The Additional axis
cameras automatically align with laser beams and
photodetectors. The early warning systems and fail-safes at every step of the way allow you to focus
on your research and not the tool.

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経験したことのない
人工知能(AI)搭載型AFM
Park FXは、ボタンをクリックするだけで自動的にプローブを変更、交換することができ、
手動交換により生じるトラブルやチップの汚染を防ぎます。また、QRコードで
プローブ情報を読み取るため、用途に合ったプローブを適切に使うことができます。

自動プローブ交換

プローブ交換の完全自動化により、古いプローブを簡単かつ安全に交換 できます。8つのプローブがセット されているカセットと磁気制御機構を 活用することで、ユーザーの操作 なしにプローブの取り付けが可能と なりました。 probes.

プローブ情報読み取り

チップキャリアに刻印されているQRコードをプローブ認識カメラで読み取り、プローブのタイプ モデル、対応アプリケーション、用途など、 プローブの情報をすべて抽出し、表示します。 この機能により、各ジョブに最適なプローブを選ぶことができます。

自動レーザーアライメント

自動レーザーアライメントはレーザーをカンチレバーの適切な位置に 配置し、PSPDの位置も垂直方向と 横方向の両方向で調整し、最適化 します。たったのワンクリックで X、Y、Z軸を動かし、歪みのない鮮明な イメージを出力します。

Automatic Probe Pairing
to Sample Locations

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サンプルカメラ

同時に4つの異なるサンプルをサンプルチャックに配置でき、サンプルカメラで全体確認しながら個々のサンプルをナビゲーションすることができます。

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プローブ認識カメラ

プローブ認識カメラで各ジョブに合ったプローブを 識別します。随時プローブの データベース(タイプ、対応アプリケーション、用途など)にアクセスして適切なプローブ 情報をたったのワンクリックで表示および選択できます。

Get Smarter with
Machine Learning​

プローブが正しく配置されているかどうかを自動的に検出します。スマートビジョンは、プローブの位置をナノレベルに特定し、必要に応じエラーステータスレポートを 生成します。ソフトウェアがアップデートされる度にシステムはアップグレードされ、数万にわたる シミュレートされたエラーとエラーレポートを比較し、問題解決へと導きます。

AFMで経験したことのない正確性とスピードを誇る真のノンコンタクト™モード

真のノンコンタクト™モードは、サブナノメートルスケールでプローブとサンプルの距離を精密に 制御します。 Park FX40は、市場に出ているどのAFMよりも高速で正確な真のノンコンタクト™モードを実現します。

Safety Features

サンプルとチップを最大限に保護するための安全な プローブのランディング

プローブとサンプルのクラッシュを防止するために、ソフトウェアインターロックとハードウェアスイッチを組み合わせたことで、プローブとAFMスキャナを保護します。アルゴリズムプログラミングにより、Zステージはサンプル表面とプローブが衝突する範囲まで下がらず、サンプルとAFMの安全性を保ちます。

環境感知センサー​

SmartScan™は、温度、湿度、
レベリング、振動など 、測定において重要な環境条件をセンサーで感知し、表示およびデータを保存します。
これにより、測定したイメージは様々な環境チャネルとの比較ができ、環境指標を導き出すことができます。

安全なプローブのピックアップ​

自動と手動どちらでもプローブの取り付けができます。もし誤って取り付けたとしても、搭載されているロボティクスと機械学習(ML)アルゴリズムにより 、誤って配置されたプローブが検出され、システムが警告してユーザーに知らせます。また、プローブのロード中に様々なエラーステータスレポートにアクセスして、最高の精度を確保します。

AFM史上最高の経験を―FX用ParkオペレーティングソフトウェアSmartScan™

クリックするだけでできるスキャン

1. セットアップ

Auto Setting

システムのセットアップからサンプル配置など 、AFMの使用方法について簡単なアニメーションチュートリアルが用意されています。

2. ポジション

Sample Navigation

カンチレバーの周波数を自動的にスィープし た後、Zステージをサンプルに近づけて自動で焦点を合わせます。ここで、イメージングしたい領域に自由に移動することもできます。

3. イメージング

Dynamic Scanning

焦点を合わせるとシステムにより適切なパラメータが設定され、カンチレバーを使ってサンプルがスキャンされます。その後は、信じられないほど高解像度のイメージがスキャンされるまで待つのみです。

Park AFMモード

Park Advanced AFM Modes

Park AFMs feature a comprehensive range of scanning modes so you can collect a wide array of data types accurately and efficiently. From the world’s only true non-contact mode that preserves tip sharpness and sample integrity to advanced Magnetic Force Microscopy, Park offers the most innovative, accurate modes in the AFM industry.