ナノインデンテーション

ナノインデンテーションは、サンプル物質の部分的硬度を測定するもので、AFMチップをサンプル表面に接触させ、サンプルの窪みの源位置でのイメージングを行います。窪みの負荷および除荷カーブの解析により、硬度と弾性を測定可能です。