Park NX-Hivac

Ideal for failure analysis
and sensitive materials research

XY Stage

22 mm X 22mm
(Motorized)

XY Stage

Open space up to
50 mm x 50 mm, thickness up to 20 mm

High vacuum atomic
force microscope for
failure analysis and ​
atmosphere-sensitive
materials research

Park NX-Hivac allows failure analysis engineers to
improve the sensitivity and repeatability​ of their ​AFM
​measurements through high vacuum​environment.
Because high vacuum ​measurement offers greater
accuracy, better repeatability, and less tip and
sample damage than ambient or dry N2 conditions,
users can measure a wide​r​ range of signal response​
in various failure analysis applications​​, such as
dopant concentration of Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM).

Park NX-Hivac enables materials scientific research
that requires ​high accuracy and high resolution
measurements in a vacuum environment free from ox​ygen and other agents.

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真空環境でSSRM計測を行うことにより、チップ-試料間の力を小さくしてチップ及び試料の両方のダメージを大幅に削減できます。これにより、それぞれのチップ寿命を伸ばすことで、測定のコストと運用効率を向上させることができ、また同時に、空間分解能とS/N比も改善できる為にもっと正確な測定結果を得ることができます。したがって、NX-Hivac型を使用した真空SSRM計測は故障解析エンジニアに彼らのスループットを向上させ、コストを削減と精度を改善するという素晴らしい選択を与えてくれます。

Park Hivac Manager

NX-Hivac自動真空制御

Hivacマネージャーの制御により、最適な真空状態までのポンピングと排気プロセスが、ワンボタン操作だけで論理的及び視覚的に制御されます。それぞれの工程は色と図式の変化により視覚的にモニタリングができるので、ワンボタン操作の後は真空操作の手順について心配の必要がありません。より高速で簡単な真空制御ソフトウエアにより、真空AFMにおける操作の簡便性と高い生産性が実現されました。

Automatic vacuum pumping and venting

The NX-Hivac lets users set up automatic controls
for vacuum pumping and venting, further
streamlining the scanning process and reducing
required human input. The average pumping
speed is to about 10-5 torr in < 5 min using Turbo
and Dry Pump.

進化した自動化機能

NX-Hivac型はユーザーの入力パラメータを最小にした装置です。その為に、ユーザーはより速いスキャンを行い研究のスループットを上げることができます

電 動ステージによるStepScan自動計測

StepScanでは、ユーザーが複数のエリアのイメージングが行えるように、装置に素早く且つ簡単にプログラムが行えます。NX-Hivac型では、スキャン、カンチレバーのリフト、ユーザーの設定した座標まで電動ステージの移動、アプローチをする及び繰り返す、というわずか5ステップでスキャンを行えます。これにより、生産性を非常に向上させると同時にユーザーの入力を最小限にします。

電 動レーザー アライメント

Park社の電動レーザービームアライメント機構により、ユーザーの入力無しでそのまま自動計測ルーティンを継続できます。Park社の最先端のプリアラインされたカンチレバーホルダーを使用することで、交換されたカンチレバー上にレーザービームがフォーカスされます。それから電動ポジションノブによってレーザースポットは、X及びY軸方向に沿って最適化されます。

精度と生産性の向上

NX-Hivac型は世界で最も正確且つ高性能なAFMの1台でありながら、同時に、故障解析において最も操作が簡単で利便性の高いAFMの一台です。Park NX-Hivacにより、生産性と測定結果の確実性による信頼性を向上できます。

ク ローズド ループ XYスキャナとZスキャナ

試料走査用クローズドループXYスキャナとプローブ走査用クローズドループZスキャナが分離している為に、非常に正確にスキャンを行うことができます。NX-Hivac型は、ボウイングエラーが小さく平坦且つ直交動作のXYスキャナにより、全スキャン範囲において1nm未満の平坦動作が可能です。NX-Hivac型は、15μmのスキャンレンジで0.5%のノンリニアリティのZスキャナを装備します。これにより、ユーザーがソフトウエアによる画像処理をしなくても、正確な2D及び3D測定が行えます。

低 ノイズXYZ位置センサー

NX-Hivac型は、低ノイズXYスキャナによりその往復スキャンにおいて0.15%という最小誤差の性能を持つと同時に、Park AFMが業界をリードする低ノイズZ検出器を装備し、正確な試料形状の計測が行えます。

Accurate Sample Topography Measured by Low Noise Z Detector

NX-Hivac型は、トレードマ―クのNXシリーズ コントローラにより不必要な時間を最小にして、正確性を最大にすることができます。このコントローラは、ノンコンタクトモードを含む広範囲な計測モードを可能にした、全デジタル制御の24ビット高速デバイスです。低ノイズ設計と高速処理機構により、ナノスケール イメージングと同様に高分解能による電圧及び電流計測も可能です。内蔵エレクトロニクスのデジタル処理機能により、計測データや画像データを簡単に解析できます。

Park AFMモード

Park Advanced AFM Modes

Park AFMs feature a comprehensive range of scanning modes so you can collect a wide array of data types accurately and efficiently. From the world’s only true non-contact mode that preserves tip sharpness and sample integrity to advanced Magnetic Force Microscopy, Park offers the most innovative, accurate modes in the AFM industry.