여기서, 탐침은 역학적 및/또는 전기적 방법들을 통해 시료 표면을 의도적으로 변형하는데 이용됩니다. 샘플 표면을 특화된 단단한 탐침이 과도한 힘으로 찌르고 긁어서 도려내게 됩니다. 전기적으로 표면을 변경하기 위해서는, 높은 전압이 걸린 탐침이 사용하며 국소적 표면 영역을 산화시켜 모양을 변형 시킵니다.

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