タッピングモード

これは非接触モードの変法で、カンチレバーが表面付近を移動しますが、振動の増幅が大きく設定されています。このことにより、反発シグナルはサーキット制御に十分な大きさとなり、形態フィードバックをより容易にします。これによりAFMの観察結果はシャープではなくなり、チップのサーブネスを高速度で鈍らせることとなり、その結果、イメージの解像度の損失が加速します。