電気特性
走査型キャパシタンス顕微鏡 （Scanning Capacitance Microscopy, SCM）
走査型キャパシタンス顕微鏡（SCM）は、サンプル表面と金属プローブの電子密度の部分的差異を記録することにより、サンプル表面の特性を調べることができます。チップとサンプルの電子密度は、ACおよびDCコンポーネントを含むバイアス電荷の変調により探査可能です。電子密度センサーの出力は、増幅器により高シグナル・ノイズ比のデータに変換することが可能である。SCM出力シグナル（dC/dV）の大きさは電荷密度すなわちドーパント濃度の関数です。
