走査型ケルビンプローブ顕微鏡 (Kelvin Probe Force Microscopy, KPFM)

走査型ケルビンプローブ顕微鏡(SKPM)では、AFMは非接触モードで動作し、伝導カンチレバーは基本共鳴周波数で振動し、サンプル表面全体を側面からスキャンします。観測される静電シグナルは、表面ポテンシャルおよび電子密度勾配に関する情報を提供します。形態データは、チップと表面サンプル間に働く引力を制御することによって得られます。