주사형 정전용량 현미경 검사는 시료표면과 금속 탐침 간의 국지적 전기용량의 변화를 기록함으로써 시료 표면의 특성을 파악하는데 이용됩니다. 탐침-시료 간의 정전용량은 carrier(수송자)를 교류와 직류 성분을 포함하는 바이어스로 조절함으로써 검출 할 수 있습니다. 이때 증폭기를 사용하여 전기용량 감지기 출력을 높은 signal to noise ratio(신호대 잡음비)로 측정합니다. 주사 정전용량 현미경 검사 출력 신호(dC/dV)의 크기는 수송자 밀도 또는 첨가 불순물 농도의 함수로 결정됩니다.

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