주사 켈빈 탐침 현미경 검사에서는 정전용 캔틸레버가 기준 공진주파수로 진동하는 동시에 비접촉모드를 이용하여 시료표면 위를 스캔하게 됩니다. 정전력 신호의 결과를 얻어 시료 표면의 정전 신호 전위 및 전하 분포에 대한 정보를 알아낼 수 있습니다. 샘플 표면 형상 데이터는 탐침과 시료사이의 힘을 조절하면서 측정됩니다.

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