誘電 / 圧電特性
静電気力顕微鏡 （Electrostatic Force Microscopy, EFM）
電気力顕微鏡（EFM）は、伝導カンチレバーを用いて、サンプル表面の強誘電性を有する範囲を探査することができます。EFMのイメージは、次の2つのスキャンの組み合わせによって作成されます。1つは形態の探査で、もう1つはカンチレバーが表面からは距離を置き、ロングレンジの静電気力が支配的な範囲によりものです。この静電気力が支配的な領域では、サンプル表面の正負の荷電の領域により、カンチレバーが誘導的あるいは反発的な影響を受けます。EFMは、ナノスケール領域において、形態とともに荷電状態の情報を提供することができます。
