정전력 현미경 검사는 바이어스 전압이 인가된 원자현미경 캔틸레버와 표면 사이의 정전력을 측정하여 시료 표면의 전기적 특성을 이미지화합니다. 정전력 현미경 측정 결과는 두 번의 별도로 스캔하여 얻어진 결과들이 합해져서 만들어지게 됩니다. 첫번째 스캔은 샘플 표면 형상을 측정하고, 이 형상을 기준으로 두 번째에는 샘플 표면으로부터 먼 거리에, 정전기력이 강하게 작용하는 영역에서 측정을 하게 됩니다. 이런 정전기 영역에서는, 탐침에 작용하는 인력 또는 척력에 따라 시료 표면의 양성과 음성의 전하 영역이 구분되어 측정이 됩니다. 결과적으로 정전력 현미경 측정을 하면 나노크기 영역의 전기적 특성을 샘플 표면 형상에 결합시킨 이미지를 얻을 수 있습니다

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