誘電 / 圧電特性
ダイナミックコンタクトEFM(DC-EFM)
ダイナミック接触EFM(DC-EFM)は、サンプル表面の形態と荷電状態について、標準EFMでは2つのスキャンを用いるのに対して、1つのスキャンで計測するものです。この方法では、カンチレバーの共振よりもAC電流の差異によるバイアスを受けます。PSPDシグナルの振動コンポーネントは、固定増幅器により抽出され、EFMシグナルとなって感知されます。
ダイナミック接触EFM(DC-EFM)は、サンプル表面の形態と荷電状態について、標準EFMでは2つのスキャンを用いるのに対して、1つのスキャンで計測するものです。この方法では、カンチレバーの共振よりもAC電流の差異によるバイアスを受けます。PSPDシグナルの振動コンポーネントは、固定増幅器により抽出され、EFMシグナルとなって感知されます。