Park SmartScan™

Park SmartLitho provides a stand-alone convenient drawing editor

An AFM OS for everyone, from amateurs to experts

すべての人にAFMテクノロジーのパワーと多様性を

Park SmartScan™は、パーク・システムズのAFM向けの革新的なオペレーティングソフトウエアです。自動モードにより、初心者でもマウスを3回クリックするだけで高品質のナノスケールイメージングが可能です。SmartScan™マニュアルモードでは、熟練したユーザーにも満足していただけるよう、すべての機能や必要な手段を提供しています。SmartScan™は、汎用性と使いやすさ、そして品質の高さを兼ね備えた最高のAFMオペレーティングソフトウエアです。

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パワーとシンプルの組み合わせ

ほとんどのAFMは複雑な操作が伴います。Park SmartScan™を使えば、そのような煩わしさはありません。必要な操作はたった3回のクリックのみです。アニメーションによるセットアップの仕方の説明も非常にわかりやすくなっています。また、システムの幅広い機能とパラメータ設定により、より詳細な制御や設定も可能です。

AFMシステムを起動させてからの動作は次の通りです。

1 “Setup” をクリックします。

小さなウィンドウが現れ、装置設定の仕方やイメージングを行うためのサンプル配置の方法をアニメーションで説明します。これには通常、数分しかかかりません。

2 “Position” をクリックします。

システムは、カンチレバーの周波数スイープを自動的に実行し、Zステージをサンプルに近づけます。サンプルに自動的にフォーカスし、ユーザーが観察したい領域に移動できるようナビゲートします。

3 “Image” をクリックします。

最適な条件に必要なすべてのパラメータ設定を行い、カンチレバーを使ってサンプルのスキャンを開始します。イメージングが終了するまで動作を続けます。

終了

カンチレバーがサンプルから離れ、次のサンプル測定ができるようになります。

Park SmartScan™による時間節約のソリューション

SmartScan™ 自動モードは、イメージングに必要なすべての操作を自動的に実行し、最適な画質とスキャン速度をすべて自律的に賢く判断します。SmartScan™ 自動モードは、パーク・システムズ独自の テクノ ロジーによって実現されました。これは、時間とコスト削減にもつながり、より効率的に研究結果を得ることができます。

ユーザーフレンドリー UX

SmartScan™ UIとレイアウトがあれば、すべてが思い通りです。大きな光学ウィンドウにより、レーザー反射、チップ、サンプル、PSPDアライメントの観察、およびXYとZステージの制御ができます。また、マウスのスクロールで視野、XY/Zステージ、光量なども簡単に制御できます。最大8つの個別トレースラインまたはチャンネルを同時に制御し、(例:形状、EFM、アンプリチュード、スキャンレート)カスタマイズされたトレースラインプロファイルを保存できます。また、幅広い分析のために、2つの信号チャンネルをリアルタイムの2元軸グラフ上でプロットすることもできます。

FastApproach™

ボタンをクリックするだけで、Zスキャナーは手動によるアプローチよりもはるかに高速で、自動的にサンプルにアプローチします。パーク・システムズ独自のFastApproach™は、ユーザーの操作なしにプローブを高速でサンプル表面まで安全に降ろし、カンチレバーをロードしてからわずか10秒で作動します。

簡単に関心領域を発見

プローブが表面にエンゲージした後、光学カメラは自動的にサンプルにフォーカスし、関心領域(ROI)を見つけます。SmartScan™のUXは、光学ウィンドウから自動ステージを制御することにより、サンプルの直観的なナビゲーションを可能にしました。光学ウィンドウで希望する場所をクリックすると、ROIまで直接移動できます。

SmartScan™ 自動モードによるシングルクリックイメージング

AFMの自動モードでユーザーが指定するのは、ピクセル数とスキャンサイズのみです。これ以外は、SmartScan™のオートモードにすべてお任せください。システムは、たった1度のクリックのみで最適な条件を見出し、自動的に測定を開始します。

AdaptiveScan™によるイメージングのスピードアップ

パーク・システムズの革新的なAdaptiveScan™により、サンプル表面の凸凹に基づいて自動的にスキャンスピードが制御されます。AdaptiveScan™は、より高速で未知の表面形状の高品質イメージを取得できるよう、ダイナミックにスキャンスピードを調整します。これにより、操作に慣れている熟練したユーザーが得る品質と同等のイメージ品質を維持しながらも、 イメージングにかかる時間が短縮されます。隣への移動や関心領域を拡大する場合には、AdaptiveScan™が自動的に新しい最適条件を適用させます。

ウィザードガイド

ソフトウエアに含まれているセットアップウィザードにて、それぞれのオペレーションに必要な手順がわかりやすく説明されています。図による解説があるため、経験の浅いAFMユーザーでも、明確ですばやく、且つ簡単に操作が可能です。

Park SmartScan™ クイックサポート

SmartScan™には、リモートアクセスサービスが搭載されているため、AFM操作における迅速なトラブルシューティングやアシストを受けられます。

The easiest operating software available for nanolithography and nanomanipulation

Park SmartLitho, enabled by SmartScan is an AFM based platform that performs nanolithography and nanomanipulation on materials, electrical and electronics devices, nanotechnology and other areas of research.

Park SmartScan™ソフトウエアは、5か国語に対応しています。

Park SmartScan™ソフトウエアは、5か国語に対応しています。

  • 英語
  • 日本語
  • 中国語
  • 韓国語
  • ロシア語

すべての人へのAFMのOS、アマチュアからエキスパートまで

お客様がアカデミックな研究、企業におけるナノ計測、或いは不良解析のいずれのケースでも、SmartScan™の自動モードは、ハイクオリティなAFMデータを出力する合理的なシステムです。さらに、SmartScan™では初心者の方でも日々のトライ&エラーを繰り返すことなく、熟練したエキスパートと同様の質の高い測定を行えます。

自動操作とマニュアル操作の両方を一度で解決

SmartScan™の自動モードは迅速で簡単なAFM操作を自動最適化機能により実現していますが、従来の一般マニュアルモードでの操作も兼ね備えています。さらに、強力なプログラマブルスクリプト機能により、熟練した研究者がフレキシビリティを必要とする先端的なデータ収集も可能にしています。

最先端研究にさらなる高い生産性を:マクロの搭載

内蔵されているマクロにより、繰り返しの操作を簡単に設定し、実行することができます。(例:XY、或いはZステージを特定の場所に移動する、または操作の再設定など)ユーザーは必要に応じ、既存のマクロを編集したり、新規に作成したりすることができます。