Park XE15

Power and versatility,
brilliantly combined

XY Stage

150 mm X 150 mm (Motorized)
200 mm x 200 mm (Motorized)
(Optional)

Sample size

50, 100, 150 mm wafers
Coupon sample using Magnetic Sample Holder (thickness up to 20 mm)
50, 100, 150, 200 mm wafers (Optional)

英語
日本語
中国語
概要
技術情報
Park AFMモード

強力で多機能な原子間力顕微鏡で生産性を向上

Park XE15には、様々なサンプルを処理する共用研究室、複数変異実験を行う研究者、およびウェーハに取り組む故障解析エンジニアにとって理想的な多くの独自の機能が搭載されています。その合理的な価格と多様な機能により、業界で最も価値の高い大型サンプル用AFMとして評価されています。

The Most Convenient Sample
Measurements with MultiSample
Scan

  • Automated imaging of multiple samples in one pass
  • Specially designed multi-sample chuck for the loading of up to 16 individual samples
  • Fully motorized XY sample stage travels up to 150 mm x 150 mm

Accurate XY Scan by Crosstalk
Elimination

  • Two independent, closed-loop XY and Z flexure scanners
  • Flat and orthogonal XY scan with low residual bow
  • Accurate height measurements without any need for software processing

Best Tip Life, Resolution and Sample
Preservation by True Non-Contact™
Mode

  • Fast Z-servo speed enabling True Non-Contact™ Mode
  • Minimum tip wear for prolonged high-quality and high-resolution imaging

Versatile Range of Modes and Options

  • Comprehensive set of measurement modes and characterizations
  • Expanded capabilities with optional accessories and upgrades
  • Advanced electrical measurements for failure analysis (FA)

MultiSample™スキャンによる最も便利なサンプル測定

Park XE15 MultiSample™スキャンシステム

  • 一回のパスで複数サンプルの自動イメージング
  • 最大16個の個別サンプルをロードするために特別に設計されたマルチサンプルチャック
  • 完全に電動化されたXYサンプルステージの最大移動距離：150 mm x 150 mm

電動サンプルステージを装備しているMultiSample Scan™は、ステップアンドスキャンの自動化におけるプログラム可能な複数の領域イメージングを可能にします。

仕組みは次の通りです：

  • ユーザーによって定義された複数のスキャン位置を登録
  • 最初のスキャン位置からイメージングを開始
  • カンチレバーをリフト
  • 自動ステージにより次のユーザー指定座標に移動
  • プローブのアプローチ
  • 繰り返しスキャン

複数のスキャン位置の登録は、サンプルステージ座標を入力するか、二つの基準点でサンプルの歪みを補正することで簡単に実行できます。この自動化された機能は、スキャンプロセス中における手間を省くことができるため、生産性を大いに向上させることができます。

Flat Orthogonal XY
Scanning without
Scanner Bow

Park's Crosstalk Elimination scanner structure
removes scanner bow, allowing flat orthogonal XY
scanning regardless of scan location, scan rate, and
scan size. It shows no background curvature even on
flattest samples, such as an optical flat, and with
various scan offsets. This provides you with a very
accurate height measurement and precision
nanometrology for the most challenging problems in research and engineering.

Decoupled XY and Z Scanners

The fundamental difference between Park and its
closest competitor is in the scanner architecture.
Park’s unique flexure based independent XY
scanner and Z scanner design allows unmatched
data accuracy in nano resolution in the industry.

Unprocessed raw data

Accurate Surface Measurement
"Flat" sample surface as it is!

  • Low residual bow
  • No need for software processing
  • Accurate results independent of scan location

真のノンコンタクト™モードによる最高のプローブ寿命、サンプル形状の維持および正確なAFM測定の実現

真のノンコンタクト™モードでは、チップとサンプル間の距離が、原子間力のネットアクティブ体制において数ナノメートルに正常に維持されます。先端振動の振幅が小さいため、先端とサンプルの相互作用が最小限に抑えられ、見事な先端の保全とサンプル変更の頻度も抑えることができます。

真のノンコンタクト™モード
Tapping Imaging
  • 少ないチップ先端の摩耗 = 長時間の高解像度スキャンが可能
  • Non-destructive tip-sample interaction =
    Minimized sample modification
  • Immunity from parameter dependent results
  • 早いチップ先端の摩耗 = ぼやけた低解像度スキャン
  • Destructive tip-sample interaction = Sample damage and modification
  • 高い測定パラメータ依存性

より長いチップ寿命と少ないサンプルへのダメージ

AFMチップの鋭い先端は非常に脆く壊れやすいため、サンプルに触れるとすぐに鈍くなり、AFMの解像度に影響を及ぼすことで、イメージの品質が低下します。軟質サンプルの場合、先端がサンプルにダメージを与えるため、サンプルの高さ測定に不正確さをもたらします。その結果、チップの完全性を維持することで、一貫した高解像度と正確なデータ取得が可能になりました。XE-AFMの真のノンコンタクト™モードが先端を見事に維持させることで、寿命を大幅に延ばし、サンプルのダメージを低減します。この図は、1：1のアスペクト比で表示され、XE-AFMによって画像化された浅いトレンチ分離サンプルの未処理の生データ画像を示しています。その深さは、走査型電子顕微鏡（SEM）でも確認できます。サンプルのイメージングに同じチップを使用し、20回に渡ってイメージングを行ってもチップの摩耗は見られませんでした

Park AFMモード

Park Advanced AFM Modes

Park AFMs feature a comprehensive range of scanning modes so you can collect a wide array of data types accurately and efficiently. From the world’s only true non-contact mode that preserves tip sharpness and sample integrity to advanced Magnetic Force Microscopy, Park offers the most innovative, accurate modes in the AFM industry.

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