Increase your
productivity with our
powerfully versatile
atomic force microscope
Park Systems의 XE15는 다양한 샘플을 다루고, 다중 실험을 하며, 웨이퍼의 고장분석을 다루는 다양한 사용자에게 적합한 독특한 기능들을 가지고 있습니다. XE15는 합리적인 가격과 튼튼한 구조가 장점인, 대형 샘플을 다루는 업계 최고의 AFM입니다.
The Most Convenient Sample
Measurements with MultiSample
Scan
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Automated imaging of multiple samples in one pass
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Specially designed multi-sample chuck for the loading of up
to 16 individual samples
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Fully motorized XY sample stage travels up to 150 mm x 150
mm
Accurate XY Scan by Crosstalk
Elimination
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Two independent, closed-loop XY and Z flexure scanners
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Flat and orthogonal XY scan with low residual bow
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Accurate height measurements without any need for software
processing
Best Tip Life, Resolution and Sample
Preservation by True Non-Contact™
Mode
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Fast Z-servo speed enabling True Non-Contact™ Mode
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Minimum tip wear for prolonged high-quality and
high-resolution imaging
Versatile Range of Modes and Options
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Comprehensive set of measurement modes and characterizations
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Expanded capabilities with optional accessories and upgrades
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Advanced electrical measurements for failure analysis (FA)
The most convenient
sample measurements
with MultiSample™ scan
Park XE15 MultiSample™
scan system
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한 번에 여러 샘플을 자동으로 이미징
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최대 16개 샘플을 올려 놓을 수 있는 다중-샘플 척
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최대 150mm x 150mm을 이동할 수 있는 전자동 XY 샘플 스테이지
다중샘플스캔™은 자동화 샘플 단계를 이용하여, 스텝-앤드-스캔 자동화 내에서 프로그램 작동이 가능한 다중 영역 이미징을 수행.
Here’s how it works :
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사용자가 다중 스캔 위치를 등록
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첫 번째 스캔 위치에서 이미징을 수행
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캔틸레버를 들어올리기
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사용자가 지정한 다음 좌표로 스테이지를 이동시킴
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접근
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스캔을 반복
샘플-스테이지 좌표 값 또는 두 개의 참조 포인트에 의한 샘플 위치를 조정 함으로서 다중 스캔 위치를 쉽게 등록할 수 있습니다. 이 자동화된 특징은 스캔 공정 동안에 사용자의 높은 참여를 요구하지 않기 때문에 생산성을 향상시켜 줍니다.
Flat Orthogonal XY
Scanning without
Scanner Bow
Park's Crosstalk Elimination scanner structure
removes scanner bow, allowing flat orthogonal XY
scanning regardless of scan location, scan rate, and
scan size. It shows no background curvature even on
flattest samples, such as an optical flat, and with
various scan offsets. This provides you with a very
accurate height measurement and precision
nanometrology for the most challenging problems in research
and engineering.
Decoupled XY and Z Scanners
The fundamental difference between Park and its
closest competitor is in the scanner architecture.
Park’s unique flexure based independent XY
scanner and Z scanner design allows unmatched
data accuracy in nano resolution in the industry.
Accurate Surface Measurement
"Flat" sample surface as it is!
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Low residual bow
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No need for software processing
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Accurate results independent of scan location
Better tip life,
sample preservation,
and accuracy with
True Non-Contact™ Mode
완전 비접촉 모드TM의 원자간 힘의 인력 구간에서는 팁-샘플간의 거리가 수 나노미터 수준에서 성공적으로 유지됩니다. 팁의 작은 진폭은 팁-샘플 상호작용을 최소화시키며 이것은 최상의 팁 보존과 극소량의 샘플 변형이라는 좋은 결과를 야기합니다.
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작은 팁 마모 = 장기적인 고해상도 스캔
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비파괴적인 팁-샘플 상호 작용 = 견본 수정의 최소화
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파라미터에 의존하는 결과의 면제
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빠른 팁의 마모 = 흐릿한 저해상도 스캔
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파괴적 팁-샘플 상호작용 = 샘플 손상 및 변경
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파라미터에 의존적
Longer Tip Life and Less Sample
Damage
AFM의 끝부분은 날카로우며 부러지기 쉽기 때문에 샘플과 맞닿게 되면 순간적으로 무뎌지고 AFM의 해상도를 제한하며 이미지의 질을 감소시킵니다. 연한 샘플은 팁에 의해 손상을 입을 수 있으며 샘플의 높이가 부정확하게 측정될 수 있습니다. 따라서, 팁의 온전함을 유지해야 일관된 고해상도로 정확한 데이터를 습득할 수 있습니다. XE-AFM의 완전 비접촉 모드 TM는 팁을 보존해주기 때문에 팁의 수명이 연장되고 샘플이 손상되지 않을 것입니다. 1:1 형상비로 나타낸 다음 그림은 XE-AFM에 의해 이미징된 얕은 트렌치 소자격리 샘플의 가공되지 않은 데이터 이미지를 보여주며, 이 샘플의 깊이는 주사 전자 현미경(SEM)에 의해 측정되었습니다. 이러한 방식으로 이미징을 하는 팁은 20회의 샘플 이미징 이후에도 마모가 되지 않습니다.
