Park NX20

The premiere choice for
failure analysis

XY Stage

150 mm X 150 mm (Motorized)

Sample size

Open space up to 150 mm x 150 mm,
thickness up to 20 mm (Optionally, up to 200 mm x 200 mm)

The leading nano
metrology tool for failure
analysis and large sample
research

FA 엔지니어라면 누구나 정확하며 오차가 없는 데이터 값을 얻을 수 있는 장비를 원하실 것입니다. Park Systems의 NX20은 세계에서 가장 정확한 대형 시료용 AFM 이며, 반도체와 하드디스크 산업에서도 가장 정확한 결과 산출을 할 수 있습니다.

More powerful failure analysis
solutions

Park Systems의 NX20은 디바이스의 결함을 발견하고 독창적인 결과물을 개발하는 것을 좀더 쉽게 하는 고유의 특징들을 갖추고 있으며, 사용자가 NX20이 제공하는 고해상도 데이터로 프로젝트를 더욱 수월하게 해결 할 수 있게 도와줍니다. 또한 NX 20의 완전 비접촉 모드™ 는 팁을 날카롭고 수명을 길게 유지 시켜주기 때문에 장시간 고해상도 스캔이 가능하며 팁을 교체하는데 드는 시간과 비용을 절약 할 수 있습니다.

Easy to use, even for entry level
engineers

Park Systems의 NX20은 다루기 쉬운 디자인 과 자동화 인터페이스를 가지고 있기 때문에 사용자는 장비를 사용하거나 신입 엔지니어를 교육하는데 많은 시간과 에너지를 쓸 필요가 없습니다. 이것은 사용자가 더 큰 문제를 해결하는 것과 고객에게 좀더 정확한 분석 데이타를 제공할 수 있습니다.

Accurate AFM Solutions
for FA and Research
Laboratories

Sidewall measurements for
3D structure study

NX20의 획기적인 구조로 인하여 샘플의 측벽과 표면을 탐지하고 각각의 각도를 측정하는 것이 가능합니다. 이것은 사용자가 혁신적이고 깊이있는 연구를 할 수 있도록 도와줍니다.

Surface roughness measurements for
media and substrates

표면 거칠기 측정은 NX20의 핵심 기능 중의 하나이며, NX20은 정확한 고장분석과 품질보증을 제공합니다.

High resolution electrical scan mode

QuickStep SCM
가장 빠른 전기용량 측정 원자현미경

PinPoint AFM
마찰이 없는 전도성의 AFM

Accurate AFM Scan by
True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode is a scan mode unique
to Park AFM systems that produces high resolution
and accurate data by preventing destructive tip-sample interaction during a scan.

Accurate Feedback by Faster Z-servo enables
True Non-Contact AFM

  • Less tip wear → Prolonged high-resolution scan
  • Non-destructive tip-sample interaction → Minimized sample modification
  • Maintains non-contact scan over a wide range of samples and conditions

Unlike in contact mode, where the tip contacts
the sample continuously during a scan, or in
tapping mode, where the tip touches the sample
periodically, a tip used in non-contact mode does
not touch the sample. Because of this, use of non-contact mode has several key advantages.
Scanning at the highest resolution throughout
imaging is now possible as the tip’s sharpness is maintained.

Accurate AFM
Topography with
Low Noise Z Detector

True Sample Topography™
without piezo creep error

Park Systems의 AFM은 가장 효과적인 저 노이즈Z검출기로 0.02nm이상의 넓은 대역폭은 가집니다. 이는 정확하게 샘플의 형상도를 측정할 수 있으며, 모서리의 측정 오류가 없어 별도의 측정이 필요하지 않습니다. 또한 시간단축을 해주고 더 좋은 정보를 얻을 수 있습니다.

  • Low noise Z detector signal is used for topography
  • Low Z detector noise of 0.02 nm over large bandwidth
  • No edge overshoot at the leading and trailing edges
  • Calibration needs to be done only once at the factory

Park AFM Modes

Park Advanced AFM Modes

Park AFMs feature a comprehensive range of scanning modes so you can collect a wide array of data types accurately and efficiently. From the world’s only true non-contact mode that preserves tip sharpness and sample integrity to advanced Magnetic Force Microscopy, Park offers the most innovative, accurate modes in the AFM industry.

QuickStep SCM Mode

QuickStep Scan

퀵스텝 스캔의 실행으로 인해 SCM 측정 처리량은 급격하게 증가 하였습니다. 퀵스텝 스캔은 일반적인 SCM 스캔보다 10배 가량 빠른 속도를 가집니다. 신호감도, 공간 분해능, 그리고 자료정확도에 손상을 입히지 않습니다. 퀵스텝 스캔에서, XY 스캐너는 데이터를 기록하기 위해 각각의 픽셀포인트에서 정지합니다. 이것은 픽셀 포인트 사이의 빠른 이동을 도와줍니다.

Scan size

10µm×3µm, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V

QuickStep Scan

Rather than continuous movements, the XY
scanner stop at each data acquisition point.

Conventional Scan

Rather than continuous movements, the XY
scanner stop at each data acquisition point.

Accurate Dopant
Profiling by Park SCM

반도체 제작에 있어, 도판트 프로파일의 특징을 분석하는 능력은 결함의 원인을 규명하는 것과 설계를 발전시키는 것만큼 중요합니다. Scanning Capacitance Microscopy (SCM)는 2D 도판트 프로파일의 양을 측정하는 특별한 기능을 가지고 있습니다.

PinPoint Conductive
AFM Mode

PinPoint Conductive AFM은 팁과 샘플 사이의 전기적 접촉이 잘 이루어지게 하기 위해 개발되었습니다. XY 스캐너는 사용자가 접촉시간을 조정하며 전류를 얻을 때 작동을 멈춥니다. PinPoint Conductive AFM은 여러 샘플 표면에 대해 래터럴포스(가로방향력)없이 높은 공간 분해능 과 최적화된 유속측정을 가능하게 합니다.

산화아연 나노막대의 conductive AFM의 이미지를 보면 일반적인 접촉 conductive AFM이 tapping conductive AFM 보다 더 빠른 유속측정이 가능하다는 것을 보여줍니다. 하지만 형상 접촉 모드에서는 팁이 닳게 되므로 분해능 에는 적합 하지 않습니다. 새로운 PinPoint conductive AFM은 공간 분해능과 최적화된 유속 측정 두 가지 모두에 있어 최고입니다.

High-bandwidth, Low-noise
Conductive AFM

산업 내에서 Conductive AFM은 고장분석을 포함한 다양한 디바이스 연구에 있어서 중요한 장비입니다. Park Systems의 Conductive AFM은 시장 내에서 최저의 전류 노이즈 레벨과 최대의 습득범위(gain range)를 가지고 있는 가장 경쟁력 있는 사양입니다.

  • 산업 내의 최저 전류 노이즈 레벨(0.1 pA)
  • 산업 내의 최대 전류(10 μA)
  • 7자릿수의 최대 Gain Selection을 다룬다 (103 ~109)