Park NX-PTR

Inline Automation, for Fast, Accurate,
and Repeatable PTR Measurements

Scan range

XY Scan Range: 100X100 µm,
Z Scan Range: 15 µm

Sample size

HDD Slider or Rowbar-level

Powerful features for
high throughput inline
PTR measurements

Park Systems' PTR Series is a fully automatic
industrial in-line AFM solution for, but not limited to,
automatic Pole Tip Recession measurements on
Rowbar-level, individual Slider-level, and HGA-level
sliders. With sub-nano scale accuracy, repeatability,
and throughput, the PTR Series is the metrology tool
of choice for Slider manufacturers to improve their
overall production yield.

Fully Automated AFM for In line
Hard Disk Slider Metrology

  • Automated PTR imaging in non-contact mode
  • Automated analysis of PTR images for carrier, rowbar, or individual slider
  • Automatic tip exchange (optional)
  • Industry's lowest system noise of less than 0.5 Arms

Accurate and Repeatable
Measurements for Improved
Production Yield

  • Accurate imaging of HDD sliders without any need of larger sized reference scans
  • Accurate height and angle measurements for industry leading PTR gauge repeatability
  • Flat and orthogonal XY scan removes artifacts from background curvature
  • Superior tool-to-tool matching

Accurate Height Measurements
with Low Noise Z Detector

  • True Sample TopographyTM without edge overshoot or piezo creep error
  • Accurate surface height recording, even during high-speed scanning
  • Industry leading forward and backward scan gap of less than 0.15%

Best Tip Life and Scan Resolution by
True Non-Contact™ Mode

  • 1 0 times or longer tip life during PTR measurements than any other AFMs
  • Minimal tip wear from prolonged high-quality scans
  • Minimized sample damage or modification

ハードディスクスライダーの自動インライン計測

寸法が縮小化されると同時に複雑化されるハードディスク スライダーの生産性を向上させるキーポイントは、 ナノスケールにおける精度です。ParkNX-PTRは、ハードディスクスライダーに正確な自動測定を提供します。

自動PTR計測と解析

ポールチップリセッション測定はNX-PTRシステムで完全自動化されており、キャリア、 ローバーの両方で、またスライダーレベルで、より高いスループット計測が提供されます。

自動ウォールアングルの計測と解析

様々なウォールアングルアプリケーションの測定と解析を自動で実行。

自動欠陥計測と解析

Measurement and analysis of various defects such as edge spikes are fully automated.

Park NX-PTR の特徴

NX-PTRは、本質的に非線形であるZ電圧信号の代わりに低ノイズZの検出器を利用することで、これまでにない 精度でトポグラフィー計測を可能にしています。業界最高の低ノイズのZ検出器の信号が、トポグラフィーの信号として 使用され、フォワードスキャンとバックワードスキャンの差を無視ができる0.15%までおさえることができました。

NX-PTRの本体は、非常に機械的及び熱的に一定する設計が施され、サーマルドリフトが最小化されているためにより 詳細に計測が可能になっています。公称サーマルドリフト率は、横方向への100nm未満/°Cと縦方向への200nm/°Cです。

は、容易な操作が可能な自動ソフトウェアを装備しています。カンチレバーのチューニング、 スキャンレート、ゲイン及びセットポイントパラメータが予め最適化されたマルチサイト分析プログラムを 任意に選択するだけで測定を開始できます。 パーク社のユーザーフレンドリなソフトウェアインターフェースは、お客様がNX-PTRをフルパワーで 使用する為に、希望するオペレーションに沿って柔軟にカスタマイズを可能としています。 新しいルーチンを作成することは簡単です。ゼロからの作成でおよそ10分、または既存のものを修正するの に必要な時間は5分以下です。

  • 自動、半自動、完全マニュアルモード
  • 各自動ルーチンにおける測定方法の編集
  • 測定プロセスのリアルタイムモニタリング
  • 取得した測定データの自動解析

精度を維持した高い生産性

自動プローブ交換機能

パーク社の自動プローブ交換システムを使用すると、合理的に自動測定ルーチンを継続することができます。自動的に、 カンチレバーの位置を較正し、レファレンスパターンを測定して測定条件の設定を最適化します。当社の革新的な 磁気的アプローチによりプローブ交換が99%の成功率を誇り、ユーザーの皆様は失敗の無い作業が可能です。

自動レーザービームアラインメント

パーク社のレーザービームの自動アラインメント機能によって、ユーザーの操作無しで自動測定の ルーチンを合理的に継続できます。当社の先進的なプリアラインメントカンチレバーホルダーでは、 レーザービームが自動チップ交換時にカンチレバー上に自動フォーカスされます。レーザスポットは、 電動位置決めノブによって、X軸およびY軸に沿って最適化されます。

AFMシステムをもっと効率性と効果を上げる為にカスタマイズが可能

カスタマイズサンプルフィクスチャー

パークシステムズ社は、お客様の特定サンプル、ローバー或いは個別スライダーを固定するためのカスタマイズ サンプルフィクスチャーを準備できます。これらのカスタマイズサンプルフィクスチャーにより、測定するサンプルと NX-PTRの接続を良くすることで精度の向上が可能です。

カスタマイズHGAフィクスチャー

お客様から供給される特定のHGAデザインにしっかりとフィットするカスタムHGA フィクスチャーを製造可能です。損傷の与えないフィクスチャーによりお客様は簡単に HGAの取り付けと取り外しが可能になります。その為に取り外したHGAは更なる テストが可能です。最大同じタイプのHGAを5つまで同時に取り付けられます。

安定したスキャン環境の為のイオン照射システム

イオナイザーシステムは,効果的に静電気を除去します。 本システムはイオンを常時発生させ、プラスとマイナスの イオンの理想的なバランスを維持できる為に、周辺からの コンタミネーションが殆どなく、また試料のハンドリング中に 発生しうる予期しない静電気のリスクも最小にし、きわめて 安定した電荷環境を維持できます。