Park NX-PTR

Inline Automation, for Fast, Accurate,
and Repeatable PTR Measurements

Scan range

XY Scan Range: 100X100 µm,
Z Scan Range: 15 µm

Sample size

HDD Slider or Rowbar-level

English
Japanese
Overview
Applications
Option

Powerful features for
high throughput inline
PTR measurements

Park Systems의 PTR 시리즈는 전자동의 산업용 인라인 AFM 솔루션으로서 로우 바 레벨, 개별 슬라이더 레벨, 그리고 HGA-레벨 슬라이더의 폴 팁 리세션 구조의 측정뿐만이 아닌 여러 구조의 측정이 가능합니다. PTR 시리즈는 서브 나노 스케일의 정확성, 반복성, 그리고 스루풋을 제공하며 슬라이더 제조업체의 전체적인 수율을 향상시킬 수 있는 계측 툴입니다.

Fully Automated AFM for In line
Hard Disk Slider Metrology

  • Automated PTR imaging in non-contact mode
  • Automated analysis of PTR images for carrier, rowbar, or individual slider
  • Automatic tip exchange (optional)
  • Industry's lowest system noise of less than 0.5 Arms

Accurate and Repeatable
Measurements for Improved
Production Yield

  • Accurate imaging of HDD sliders without any need of larger sized reference scans
  • Accurate height and angle measurements for industry leading PTR gauge repeatability
  • Flat and orthogonal XY scan removes artifacts from background curvature
  • Superior tool-to-tool matching

Accurate Height Measurements
with Low Noise Z Detector

  • True Sample TopographyTM without edge overshoot or piezo creep error
  • Accurate surface height recording, even during high-speed scanning
  • Industry leading forward and backward scan gap of less than 0.15%

Best Tip Life and Scan Resolution by
True Non-Contact™ Mode

  • 1 0 times or longer tip life during PTR measurements than any other AFMs
  • Minimal tip wear from prolonged high-quality scans
  • Minimized sample damage or modification

Automated Inline
Measurements of Hard
Disk Sliders

줄어드는 면적과 증가하는 복잡성을 지닌 하드 디스크 슬라이더의 생산 수율을 향상시킬 핵심 방법은 나노 스케일의 정확도에 달려있습니다. Park Systems의 NX-PTR은 하드 디스크 슬라이더의 정확하며 자동적인 측정을 제공합니다.

Automatic PTR Measurement and Analysis

폴 팁 리세션(PTR) 측정은 NX-PTR 시스템 내에서 전 자동화가 되어있으며 캐리어, 로우 바, 그리고 슬라이더 레벨 에서 높은 스루풋 능력을 제공합니다.

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Automatic Wall Angle Measurement
& Analysis

다양한 벽면 각도 어플리케이션을 자동적으로 측정 및 분석할 수 있습니다.

Automatic Defect Measurement and Analysis

엣지 스파이크와 같은 다양한 결함의 측정 및 분석은 전 자동화 되어있습니다.

Park NX-PTR features

NX-PTR은 비선형인 Z 전압신호 대신 울트라-로우 노이즈 Z 검출기를 이용하여 형상 높이를 매우 정확하게 측정합니다. 업계를 선도하는 저 노이즈 Z 검출기는 형상 신호로서 Z 인가 전압을 대체하며 앞 뒤 스캔 간격을 스캔 범위의 0.15%로 경미하게 만듭니다.

NX-PTR의 본체는 기계적과 열적으로 상당히 안정되게 설계되어있어, 열변형을 최소화하며 더욱 정밀한 측정을 제공합니다. 일반적인 열변형율은 수평방향으로 100 nm/°C 미만이며 수직 방향으로 200 nm/°C미만입니다.

NX-PTR은 자동화 소프트웨어를 탑재하고 있어 작업을 매우 수월하게 합니다. 원하는 측정 프로그램을 선택하기만 하면 최적화로 세팅된 정밀한 다지점 분석결과를 얻을 수 있습니다. 분석결과는 캔틸레버 튜닝, 스캔 속도와 게인, 그리고 셋 포인트 파라미터를 제공합니다. 사용자는 Park Systems의 사용자 친화적 소프트웨어 인터페이스를 이용하여 맞춤형 작업 루틴을 융통적으로 생성하는 것이 가능합니다. 따라서 사용자는 NX-PTR의 전 출력을 이용할 수 있으며 원하는 측정 결과를 얻을 수 있습니다. 새로운 루틴을 만들어 내는 것은 쉬운 작업입니다. 하나의 루틴을 생성하는 데에는 10분 가량이 소요되며 기존의 루틴을 수정하는 데에는 5분 미만이 소요됩니다.

  • 완벽한 컨트롤이 가능한 자동, 반자동, 수동 모드
  • 자동화된 개별 루틴의 수정이 가능한 측정 방법
  • 측정 프로세스의 실시간 모니터링
  • 획득한 측정 데이터의 자동 분석

Productivity meets
Accuracy

Automatic Tip Exchange (ATX)

Park Systems의 자동 팁 교체 시스템은 자동화 측정 절차를 중단 없이 매끄럽게 지속시키기 위해 팁을 완전히 자동으로 교체합니다. 자동 팁 교체 시스템은 자동적으로 캔틸레버의 위치를 보정하며 레퍼런스 패턴을 측정한 결과에 따라 측정 세팅을 최적화합니다. 이는 독창적인 자력 방식으로, 팁 교환 성공률이 99%이기 때문에 사용자의 많은 관리를 요구하지 않습니다.

Automatic Laser Beam Alignment

Park Systems의 자동 레이저 빔 정열은 사용자 입력 없이 자동화 측정 절차를 중단없이 매끄럽게 지속시킵니다. 미리 정렬된 캔틸레버 홀더에 의해 레이저 빔은 자동 팁 교체를 통하여 캔틸레버에 집중됩니다. 자동 포지셔닝 손잡이에 의해 레이저 스팟은 X, Y축을 따라 이동하며 최적화됩니다.

Customize your AFM to
make it more efficient
and more effective

Customized Sample Fixture

Park Systems can prepare customized sample
fixtures to support customers’ specific samples,
row bars or individual sliders. The customized
sample fixture can provide a better connection
between the measuring sample and the NX-PTR for increased accuracy.

Customized HGA Fixture

HGA fixtures can be custom built to firmly fit a
specific HGA design provided by the customer,
offering a more stable fixture.
The non-damaging fixture allows users to easily
load and unload the entire HGA, without causing
any damage to the HGA. HGA then can be
dismounted, and further tested. Up to 5 HGA
samples of the same type can be mounted at the same time.

Ionization System for a more stable scanning environment

혁신적인 이온화 시스템은 샘플에 있는 정전기를 효과적으로 제거합니다. 이 시스템은 대전된 물체를 이온화하며 주위 공간을 전혀 오염시키지 않고 양이온과 음이온을 끊임없이 발생시켜 이상적인 균형 상태를 유지하므로 안정성이 매우 높습니다. 또한 시료 취급 시 우발적으로 발생할 수 있는 정전기 축적을 줄입니다.

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