走査型近接場光学顕微鏡（NSOM）では、形態スキャンには、ナノスケール開口を有する特別なカンチレバーが用いられます。スキャン中にはサンプル表面を励起状態に保つためレーザーが開口部を通じて照射され、各励起状態のサンプル部分における光学的反応を感知する目的でフォトンカウンターが用いられます。得られるイメージは、サンプル表面形態と光学的イメージとを組み合わせたものです。