チップ増強ラマン分光（TERS）では、NSOMによる測定と同様に、サンプル表面からの光学的シグナルを励起レーザーを用いて測定します。レーザーは側面から入射し、チップ増強効果を利用することができます。さらに、フォトン計測器の代わりに分光光度計を用いることにより、サンプル表面の部分的なラマンスペクトルを測定可能で、このデータからサンプル表面の部分的な化学組成を知ることが可能です。