근접 주사 광학 현미경 검사(NSOM)에서, 표면 형상 스캔은 나노크기의 구멍을 가진 특화된 탐침을 가지고 수행하게 됩니다. 주사가 진행되는 동안, 레이저가 캔틸레버의 구멍을 통해 전달되어 시료 표면을 자극하게 되고, 광자수 측정기를 이용하여 각 자극된 지역들의 광학적 반응을 검출하게 됩니다. 결과적으로 샘플 표면의 형상 이미지를 광학적 영상과 결합하게 됩니다.