NX20 300mm | Large Sample AFM | Products & Solutions

Park NX20 300mm

The leading automated
nanometrology tool

XY Stage

300 mm X 300 mm
(Motorized)

Sample size

100, 150, 200, 300 mm wafers,
thickness up to 20 mm

Brochure

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Overview

Tech

AFM Modes

300mm 웨이퍼 측정 및 분석을 위한 최고의 자동화 나노 측정 장비

Park NX20 300mm는 300mm X 300mm의 크기를 완전 자동화 전동 스테이지를 지원하는 업계 최초의 대형 샘플 AFM입니다. 새롭게 업그레이드 된 Park NX20 시스템은 고장 분석 및 품질 관리 실험을 위해 설계 되었으며 번거로운 샘플 교체 작업 필요 없이 효율적으로 전체 300mm 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. Park의 혁신적인 제진 기술은 300mm 전동 XY 스테이지를 지원하는 확장 된 플랫폼에도 불구하고 실제 소음 수준을 0.5 Å 또는 0.3 Å RMS 미만으로 유지합니다.

검증 된 AFM 성능과 SingleClick-AFM 자동화는 샘플 조정에 대한 필요성을 없애고 Park NX20의 스캐닝 프로세스를 가능한 한 효율적이고 사용자에게 친숙하게 만듭니다. 우리의 "배치 모드" 화면을 통해 사용자는 쉽게 전체 300mm X 300mm 영역에 걸쳐 안정적이고 반복 순차적 멀티 사이트 측정을 구현할 수 있습니다. 따라서 대형 샘플을 측정해야 하는 FA, QA 및 QC 엔지니어에게 Park NX20 300mm는 최고의 선택입니다.

대형 샘플 웨이퍼 검사를 위해 특별 제작

NX20 300mm는 대형 샘플을 최적으로 측정 할 수 있도록 설계되었습니다. 300mm 웨이퍼 전체 영역에 저소음 AFM 측정하여 분석 할 수 있습니다. 이는 완전히 새로운 측정 자동화를 열어 엔지니어들이 보다 정밀하고, 단순하며, 정밀도를 높일 수 있도록 해 줍니다.

Flexible 300 mm Sample Chuck

NX20 300mm의 진공 척은 사용자가 실질적으로 정밀하게 스캔 할 수 있도록 다양한 종류의 웨이퍼 크기, 모양 및 유형을 지원합니다.

300 mm XY stage

The motorized 300 mm XY stage allows users to
move the AFM measuring position within the
entire 300 mm area.

검증된 NX20 성능에 300mm 샘플 스테이지 조합

정확도를 저해하지 않고 사용 및 자동화가 탁월한 NX20은 이미 FA, QA 및 QC 엔지니어에게 최고의 선택입니다. 300mm 전동 XY 스테이지를 지원하는 확장 된 플랫폼을 갖춘 NX20 300mm는 한 걸음 더 나아가 사용자가 더 큰 샘플을 쉽고 매우 정확하게 검사 할 수 있게 해줍니다.

Park SmartScan™은 정확한 측정을 간단하게 합니다.

Park NX20에는 SmartScan OS가 장착 되어 있어 AFM 사용자에게 있어 가장 쉽게 AFM을 사용할 수 있습니다. 직관적이지만 매우 강력한 인터페이스로 교육 받지 않은 사용자라도 전문가 없이 대형 샘플을 빠르게 스캔 할 수 있습니다. 이를 통해 수석 엔지니어는 더 큰 문제를 해결하고 더 나은 솔루션을 개발하는 데 자신의 경험을 집중할 수 있습니다.

전체 300mm 웨이퍼 영역에 멀티 사이트 스캔

SmartScan의 “Program Mode”를 사용하면 자동 순차적으로 사이트 측정을 수행하고 그리드 및 웨이퍼 기반 모드를 사용하여 표면 형상, 높이, 사이트 및 샘플 간 표본을 비교할 수 있습니다. 따라서 대용량 시료를 스캔 할 때 사용자 편의성과 생산성을 크게 향상시킬 수 있습니다.

강력한 레시피 생성

우리의 간단한 레시피 생성 프로세스를 통해 엔지니어는 각 배치에서 위치, 이름, 번호 및 유형에 따라 사전 설정을 할 수 있습니다.

다양한 응용 분야에 최적화

NX20 300mm는 나노 미터 크기의 시료에 대한 고급 측정 및 분석을 제공하는 수많은 응용 분야에서 자동화 된 AFM 측정법을 제공합니다. AFM은 거칠기, 높이 및 깊이를 측정하고 결함 검토, 전기적 및 자기적 결함 분석, 열 특성 및 나노 기계적 특성 이미징을 수행함으로써 FA, QA 및 QC 엔지니어가 수행하는 광범위한 대형 샘플 작업에 이상적입니다.

Park AFM Modes

Park Advanced AFM Modes

Park AFMs feature a comprehensive range of scanning modes so you can collect a wide array of data types accurately and efficiently. From the world’s only true non-contact mode that preserves tip sharpness and sample integrity to advanced Magnetic Force Microscopy, Park offers the most innovative, accurate modes in the AFM industry.

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