Force Modulation Microscopy (힘 변조 현미경검사)

힘 변조 현미경 검사에서는, 탐침이 진동을 하며 시료 표면을 스캔하며 지나갑니다. 탐침의 진동 진폭은 시료표면의 국지적 경도에 따라 변화하게 되는데, 이 변화는 PSPD 신호에서 측정되어지며, 이를 이용하여 시료표면 경도을 계산할 수 있습니다. PSPD신호의 크기 변화는 내부 lock-in amplifier(로크인 증폭기)에 의해서 정확하게 측정됩니다.