시료 표면의 열 특성을 측정하기 위하여, 온도에 따른 저항률을 띠는 특수 제작된 탐침을 이용하여 접촉 방식의 이미징을 합니다. 스캔이 진행되는 동안 시료 표면의 열 영상과 연관성을 갖는 탐침 끝의 전기저항 변화를 이미지화하게 됩니다.

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